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国际洁净室范例-美国联邦FS-209范例
源头:深圳洁净室装修 | 作者:洁净室 | 公布时间: 2019-09-26 | 70 次欣赏 | 分享到:
美国联邦范例( USA Federal Standard ) 209E ( 1992 年)209E表现单位增长了公制单位,洁净室等级以`M′字头表现,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,共同国际公制单位之范例化,M字母后之阿拉伯数量字因此每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数量字以10的幂次方表现,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表现。
  美国联邦FS-209范例
  1963年底美国联邦范例FS-209颁发实行以后,即成为国际上迟滞的洁净室范例。随着各国洁净技术的生长,209范例在运用中遇到的各行各业格外是微电子财发生长中提出的气氛洁净度等级为10级、1级以及采取国际单位制的要求,促使对209范例举行了不绝的修订。fs-209E的气氛悬浮粒子洁净度等级见表1-2。
图2-5 图解情势表现的各项ISO气氛洁净度等级的粒子浓度值

表1-2 FS-209E范例的气氛中悬浮粒子洁净度
等级称谓
等级限值
0.1
0.2
0.3
0.5
5
容积单位
容积单位
容积单位 容积单位 容积单位
国际单位 英制单位 ft³
ft³

ft³

ft³

ft³
M1
350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283

M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00

M2
3500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83

M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0 353 10.0

M3
35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3

M3.5 100

26500 750 10600 300 3530 100

M4


75700 2140 30900 875 10000 283

M4.5 1000





35300 1000 247 7.00
M5






100000 2830 618 17.5
M5.5 10000





353000 10000 2470 70.0
M6






1000000 28300 6180 175
M6.5 100000





3530000 100000 24700 700
M7






10000000 283000 61800 1750

  209E范例中,对中心恣意等级的下限浓度可类似地用式(2-4)和式(2-5)谋略:
  式中  M—采取国际单位制时洁净度等级的表现值;d—思量的粒径(µm);  NM大于或便是粒径(d)的尘粒的下限浓度(pc/m³)。
  式中  N采取英制单位制时洁净度等级的表现值;d—思量的粒径(µm);大于或便是粒径(d)的尘粒的下限浓度(pc/ft³)。
  209E范例中,同时可运用国际单位和英制单位,但优先采取国际单位。当采取国际单位时,气氛洁净度等级称谓为每立方米气氛中粒径≥0.5µm尘粒的最大允许粒子数的常用对数值(以10为底,到小数点后一位);当用英制单位时,洁净度等级称谓为每立方英尺气氛中粒径≥0.5µm尘粒的最大允许粒子数。敷衍大于M4.5级(1000级)的各个等级,可颠末测定粒径≥0.5µm或粒径≥5µm范围内的粒子数来确定。敷衍大于M3.5级(100级)并小于M4.5级(1000级)的各个等级,可颠末测定以下一个或几个粒径相应的粒子数来确定≥0.2µm,≥0.3µm,≥0.5µm;敷衍小于M3.5级(100级)的各个等级,可颠末测定:≥0.1µm,≥0.2µm,≥0.3µm和≥0.5µm中的一个或几个粒径相应的粒子数来确定。敷衍粒径尺寸从0.02µm到粒子计数器检测下限值的粒子称为超微粒子,没有规矩怎样区分超微粒子的等级,但在209E中规矩了以U为超微粒子允许浓度的表现要领,它可以独立于表1-2的13个级别外运用,也可作为气氛洁净度等级的补充。其格式为:U(i),此处的i表现超微粒子的最大允许浓度(pc/m³)
 比如“U(20)”,表现每立方米气氛中含有的超微粒子数不超越跨过20个。
  M1.5级(0.31µm),U(2000)表现粒径≥0.3µm粒径的粒子数不超越跨过106pc/m³,同时超微粒子数不超越跨过2000/m³。
  FS-209E范例中,对气氛洁净度等级的占用外形未作规矩,表1-2中表现为某一级别自身的定义,即以气氛中最大允许粒子数(pc/m³)或(pc/ft³)来确定。最大允许粒子则明白只需测点数在10点以下时用统战略略要领,不然用平均值。209E范例明白规矩气氛洁净度等级的表达要领为X级(在Yµm下)。此处X代表悬浮粒子洁净度等级的数值,Y代表粒径。

  比如:“M2.5级(在0.3µm和0.5µm下)”,表现气氛中粒径0.3µm的粒子数不大于1060pc/m³,粒径≥0.5µm的粒子数不大于353pc/m³。
  100级(0.5µm下)”,表现气氛中粒径≥0.5pm的粒子数不大于100pc/ft³。
 
209E范例中明白说明,该范例仅触及气氛中悬浮粒子的尺寸等级和数量不触及悬浮粒子的物理、化学、生物或放射等特性,没有确定悬浮粒子浓度和生物性粒子之间普遍的、通用的干系。

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